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表面缺陷检测仪

    1. +
      1. 便携式AFM
      2. 小样品AFM
      3. 大样品AFM
      4. 全自动AFM
      5. 生物型AFM
      6. 光诱导力显微镜IR/SNOM/TERS
      7. 扫描热学显微镜
      8. 扫描微波阻抗显微镜
      9. AFM In-SEM
      +
      1. D系列台阶仪
      2. P系列台阶仪
      +
      1. Zeta系列光学轮廓仪
      2. 白光干涉仪
      +
      1. 单点厚度测量
      2. 微米（显微）级光斑尺度厚度测量
      3. 自动厚度测量系统
      4. 在线厚度测量系统
      5. 椭偏仪
      6. 棱镜耦合仪
      +
      1. 表面等离子共振显微镜
      2. 表面等离子共振仪
      +
    7. +
    8. +
    +
    1. +
      1. 纳米拉伸仪
      +
      1. 原位TEM四自由度纳米操纵样品杆
      +
      1. 原位拉伸台
      2. In-SEM纳米操作机
      3. In-SEM纳米压痕
      +
    5. +
    +
    1. +
      1. 小型研发台
      2. 手动探针台
      3. 半自动探针台
      +
      1. 示波器
      2. 矢量网络分析仪
      3. 频谱分析仪
      4. 功率分析仪
      5. 参数分析仪
      6. 误码率测试仪
      7. 相干光信号分析仪
      8. 频率计数器
      +
      1. 探针及配件
      +
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      1. In-SEM原子力显微镜
      +
      1. In-SEM纳米压痕
      2. In-SEM 纳米操作机
      +
      1. 原位芯片及Holder
      +
    4. +
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    1. +
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      1. 电镜样品清洗机
      2. 等离子清洗机
      3. 紫外臭氧清洗机
      +
      1. 被动隔震台
      2. 主动隔震台
      +
      1. 样品切割
      2. 镶嵌
      3. 研磨抛光
      +
      1. 工业/测量显微镜
      2. 视频显微镜
      3. 金相显微镜
      4. 偏光显微镜
      5. 立体/体视显微镜
      6. USB显微镜
      +
      1. 干燥箱
      2. 氮气柜
      +
    +
      1. AFM探针
      2. AFM标样基底
      +
      1. 氮化硅薄膜窗口
      2. Quantifoil多孔载网
      3. TEM耗材
      4. SEM耗材
      5. X-ray耗材
      +
      1. GGB探针
      +
      1. 光栅模板
      2. 点阵模板
      3. 孔状模板
      4. 纳米压印胶
      +
    5. +
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  • 内应力检测仪

    内应力检测仪将全口径延迟、应力方位角等分析整合进入一键测量，确保我们的客户能够快速确认工艺

  • 晶圆翘曲应力测量仪

    具备三维翘曲（平整度）及薄膜应力的检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆...

  • 自由曲面三维面型检测仪

    从600mm口径的大反射镜，到1mm口径的微透镜阵列，自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。

  • 光学表面缺陷分析仪

    采用激光扫描技术的off-line型光学表面缺陷检测与分类系统。

  • Candela CS920表面缺陷检测仪

    采用光学表面分析（OSA）专用技术的自动特征缺陷（DOI）检测与分类系统。