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结合垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型非接触式光学轮廓仪
结合相位扫描干涉技术(PSI)和垂直扫描干涉技术(VSI)的非接触式表面轮廓测试系统。