具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能

优势

√ 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量，显示应力二维分布伪彩图

√ 采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高

√ 根据不同测量视场要求，多种镜头可选

√ 订制化样品托盘，适应不同规格晶圆批量测试

适用对象

适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测

适用领域

面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业

检测原理

√ 基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算��材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布；

√ 可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测。