台式无掩模光刻机
光刻模块 无掩模光刻 显微镜光刻
氮气发生器
高纯度进口氮气发生器。
F20单点膜厚测量仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的单点光学膜厚测试系统。
F3 单点膜厚测试仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的单点光学膜厚测试系统。