集Downstream等离子体、紫外辑照、加热真空脱附三种清洗模式于一体,随时切换 。适用于各种扫描...
配有外部PC控制系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻
紫外臭氧系统应用于电子和半导体行业,以及生物、化学、物理、材料科学等科研领域。为了满足全球工业和研究...
低压等离子技术。NANO等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式,主要有以下领域:分...
Pico等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式,主要有以下领域:半导体,汽车行业等
可用于清洗刻蚀、磨砂和表面准备等,成本低,操作灵活,也可用于真空电子行业、半导体开发
等离子设备Atto,配有外部PC控制系统,等离子清洗器,等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,...