设计理念
1. SE series可执行Thermal-ALD,PEALD,与ALA等先进制程。
2. SE series具有高度的改造弹性,但其性能与稳定性并不因此而牺牲。
3. 原子层沉积系统设计具有便捷、稳定、再现性高的产品定位。
设计理念
1. SE series可执行Thermal-ALD,PEALD,与ALA等先进制程。
2. SE series具有高度的改造弹性,但其性能与稳定性并不因此而牺牲。
3. 原子层沉积系统设计具有便捷、稳定、再现性高的产品定位。