首页 >产品中心>微米(显微)级光斑尺度厚度测量
从600mm口径的大反射镜,到1mm口径的微透镜阵列,自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的显微光学膜厚测试系统。