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微纳米光学

AFM SNOM/Nano IR,基于AFM高精度场强表征

亚纳米形貌、电学、力学性质综合表征

台阶高度测试、2D应力测试(可扩展3Dmapping型号)

器件轮廓测试、膜厚测试

器件宽粗糙度测试、表面轮廓形貌表征、应力应变测试