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纳米材料

所有常规原子力显微镜功能的条件下,基于专利的光诱导力显微镜(Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术,结合波长可调的可见-红外光源,从而实现10nm以下空间分辨可见~红外成像与光谱采集,无需远场光学接收器及光谱仪。

高精度表面形貌,电学、力学、磁学测试

微纳米压痕、划痕摩擦磨损测试、高温纳米压痕测试

台阶高度、表面轮廓、应力应变测试

电镜原位AFM,亚纳米形貌、力学、电学、磁学表征

探针台、I-V,C-V,直流、射频、微波测试

微纳米压痕、划痕摩擦磨损测试,杨氏模量、硬度