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应用案例

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摩擦磨损

微纳米摩擦、力学表征,摩擦表面轮廓,摩擦磨损情况表征

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微纳米光学

光栅、光波导光学器件形貌、电学表征、场强表征

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纳米材料

微纳米材料形貌、力学、电学、原位等综合表征