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SUME MA-L8是高精度双面对准半自动接近式光刻机,能高质量完成标准光刻工艺,且可根据客户实际工...
从600mm口径的大反射镜,到1mm口径的微透镜阵列,自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。
激光直写、光栅扫描曝光、快速曝光复杂的图形 、灰度光刻、无掩膜光刻
利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后便在抗蚀层表面形成要求的浮雕轮廓。