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首页> > 产品中心 > NX-HDM 全自动缺陷检测原子力显微镜

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NX-HDM 全自动缺陷检测原子力显微镜
品 牌 :Park
型 号 :NX-HDM
产 地 :韩国
关键词 :NX-HDM,自动检测缺陷,原子力显微镜,AFM

对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率,越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求,Park NX-HDM原子力显微镜系统具有业界低0.5埃噪音,并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。


    


    基本技术参数


200 mm电动XY平台

电动Z平台

噪音

行程可达150mm x 150mm,

2 μm重现性 0.095nm分辨率

25 mm Z行程距离

0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性

小于 0.5 μm/s

尺寸&重量

控制箱

设备需求环境

880wx 880dx 880h

620kg

600wx 900dx 1330h

170kg

室温10 ~40

操作18 ~24

湿度 30%~60%


    主要功能

1) 快速自动缺陷检测功能

2) 亚埃级表面粗糙度的测量

3) 有小的热漂移,自动分析测量的数据

4) 在线监测测试过程,


    应用

自动检测缺陷



相关文献

Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463