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首页> > 产品中心 > NX-3DM 可旋转全自动原子力显微镜

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NX-3DM 可旋转全自动原子力显微镜
品 牌 ：Park
型 号 ：NX-3DM
产 地 ：韩国
关键词 ：NX-3DM,原子力显微镜,AFM,SPM,扫描探针显微镜
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    Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。借助XY轴和Z轴立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。


纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变形异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现了快速的软硬件更换，使得升级更为划算，从而不断优化复杂并且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，而我们的True Non-Contact™模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。



    基本技术

200 mm电动XY平台

300 mm电动XY平台

电动Z平台

行程可达275mm x 200mm,

0.5 μm分辨率

行程可达400 mm x 300 mm，

0.5μm分辨率 小于1μm的重现性

27 mm Z行程距离

0.08μm 分辨率小于1μm

Z扫描范围

Z扫描噪音

Z向探针噪音

15μm（大模式）分辨率 0.016nm

2μm  （小模式）分辨率 0.002nm

小于0.05nm

0.02 nm

200mm 系统

300mm 系统

设备需求环境

1500mm x980mm x 2050 mm

大约1020kg

1840mm x 1170 mm x2050 mm

大约 2950 kg

室温10 ℃~40 ℃

操作18 ℃~24 ℃

湿度 30%~60%


    主要功能

    创新的3D测量方法

侧切和外伸轮廓；临界尺寸；侧壁粗糙度测量

    工业界低的噪音

    静电消除系统确保稳定的扫描环境

    自动测量控制，提高效率

    

    应用

临界尺寸和侧壁测量

A、光刻胶致密线纹的横截面SEM图像;B、三维AFM图像;C、模板AFM轮廓线