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电阻率测试仪
品 牌 :KLA Instruments
型 号 :R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC
产 地 :美国
关键词 :方块电阻、四探针测试仪、非接触方块电阻

Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:

半导体晶圆基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB图案特征

太阳能电池

平板显示层和图案化特征

金属箔

二、主要功能

技术规格

测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度: +/- 1%;

重复度: 小于 0.2%;

样品图中无限量的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、

较为坐标以及自定义等。

Model

Description

R50-4PP

四探针测试

自动XY移动台-100mm*100mm

可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量

可放置直径200mm晶圆样品

R50-EC

非接触涡流测试

自动XY移动台-100mm*100mm

可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量

可放置直径200mm晶圆样品

R50-200-4PP

四探针测试

自动XY移动台-200mm*200mm

可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量

R50-200-EC

非接触涡流测试

自动XY移动台-200mm*200mm

可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量

 三、应用

支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:

金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。