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AFM校准标样
品 牌 ：复合
型 号 ：多种
产 地 ：瑞士
关键词 ：AFM校准标样
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型号

规格

TGZ系列Z向校准标样，TGZ1/TGZ2/TGZ3/TGZ4/TGS1，Z轴校准及非线性校准

Si 基底，结构在SiO2层

周期：3±0.1 µm，尺寸：5x5x0.5 mm，有效区域：中心：3x3 mm

可选配：PTB可溯源证书

TGZ1

20.0±1.5 nm（Height）

TGZ2

110±2 nm（Height）

TGZ3

520±3 nm（Height）

TGZ4

1517± 20nm（Height）

TGT1：SPM针尖3-D校准标样NT-MDT，针尖形状，曲率半径校准，尖端降解/污染检测

Si 基底

周期：3±0.05 µm，尺寸：5x5x0.5 mm，有效区域：中心：2x2mm

TGT1

尖端尺寸：角度：50+-10°,半径：<=10nm，高度：0.3-0.5µm

TGG1：SPM X，Y方向校准标样

SPM X、Y方向校准，扫描器横向垂直方向非线性检测，角度畸变检测，针尖表征

Si 基底

周期：3±0.05 µm，尺寸：5x5x0.5 mm，有效区域：中心：3x3mm

TGG1

1-D 三角台阶标样，精确的线性，角度

边缘角度70°，边缘半径：≤10nm

TGX1：SPM横向校准，针尖高长径比

扫描器横向检测 横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应的检测 针尖长径比标定

Si 基底

周期：3±0.05 µm，尺寸：5x5x0.5 mm，有效区域：中心：3x3mm

TGX1

棋盘状的方柱阵列，具有锋利的咬边

高度：～0.6 µm，边缘半径：≤10nm

TipCheck

SPM针尖形状校准标样，Budgetsensors，针尖形状，曲率半径校准，尖端降解/污染检测

尺寸：5x5x0.3 mm，有效区域：中心：5x5mm

TipCheck

Tipcheck金字塔纳米结构

50-100nm高度，50-100nm底部宽度

小边缘：≤5nm

SHS系列台阶标样：SHS系列台阶标样

Si 基底，多种结构复合：圆、长条、方形

基底尺寸：8.0x8.2x0.5 mm

SHS-01

结构材质：SiO2，高度：100nm

SHS-1

结构材质：SiO2，高度：1000nm

STEP-OX-0.1

结构材质：SiO2，镀层材质：Cr，高度：100nm

STEP-OX-0.2

结构材质：SiO2，镀层材质：Cr，高度：100nm

STEP-OX-0.5

结构材质：SiO2，镀层材质：Cr，高度：500nm

STEP-OX-1

结构材质：SiO2，镀层材质：Cr，高度：1000nm

STEP-Si-5

结构材质：Si，高度：5000nm

STEP-Si-10

结构材质：Si，高度：10000nm

STEP-Si-25

结构材质：Si，高度：25000nm

PA01

SPM针尖形状校准标样，针尖形状，曲率半径校准，尖端降解/污染检测

尺寸：5x5x0.3 mm，有效区域：中心：5x5mm

PA01

PA 01金字塔纳米结构

50-100nm高度，50-100nm底部宽度

小边缘：≤5nm

TGF11 SPM扫描器垂直方向非线性检测

扫描器垂直方向非线性检测,横向力校准，带小球硅针尖悬臂校准

尺寸：5x5x0.3 mm，有效区域：中心：3x3mm

TGF11

TGF11梯形结构，54.74°

高度：1.75µm，周期：10±0.1 µm

HS-MG系列标样，HS-20MG/HS-100MG/HS-500MG，Z轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底，结构在SiO2层，不同结构阵列，周期：5&10µm，尺寸：5x5 mm

圆柱/孔：500 µm x500 µm，线条： 500 µm x500 µm，方柱/孔：1 x1mm

HS-20MG

20 nm（Height）

HS-100MG

100 nm（Height）

HS-500MG

500 nm（Height）

CS-20NG系列标样，Z轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底，结构在SiO2层，不同结构阵列，尺寸：5x5 mm

圆柱/孔：（500nm pitch）100 µm x100 µm，线条：(5 µm pitch) 500 µm x500 µm，方柱/孔：(10µm pitch)1 x1mm

CS-20MG

20 nm（Height）

TGX：SPM横向校准，针尖高长径比，扫描器横向检测，横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应的检测

Si 基底，不同结构阵列，尺寸：5x5 x0.3 mm，边缘半径：≤5nm，周期3±0.1 µm

TGX

1µm（Height）

TGXYZ系列标样：SPM Z轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底，结构在SiO2层，不同结构阵列，尺寸：5x5x0.3 mm

圆柱/孔：500 µm x500 µm，线条：500 µm x500 µm，方柱/孔：1 x1mm

TGXYZ01

20.0±2 nm（Height）

TGXYZ02

100±3 nm（Height）

TGXYZ03

500±3 nm（Height）

TDG01：X、Y方向校准，扫描器横向垂直方向非线性检测，角度畸变检测，针尖表征

Si 基底，镀Al，平行脊，尺寸：12.5mm直径，厚度：2.5mm，有效区域：9mm直径

TGX

>55nm（Height）

 

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