除了NANO型号,还有从手动到自动,单气路-较多10气路的多种等离子清洗机。
NANO等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式,主要有以下领域:
· 分析
· 考古
· 汽车行业
· 小批量生产
· 分析(REM,TEM)
· 医疗技术
· 灭菌
· 研究和开发部门
· 考古
· 纺织技术
· 塑料技术
· 多功能型模块化设计 · 多种腔体可选择 · 3.5\7寸触摸屏人机交互界面(PCCE控制) · 存储50套工艺参数(PCCE控制) · 三种频率发生器可选择 · 方形腔体1~5层分层电较为(PG/PF) 用途 · 兼容6''及以下wafer的表面处理 适合于批量生产使用 用于不同材料表面的处理
特点