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首页> > 产品中心 > iMicro高精度微纳米压痕仪

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iMicro高精度微纳米压痕仪
品 牌 ：KLA Instruments
型 号 ：iMicro
产 地 ：美国
关键词 ：纳米压痕、Nanoindentor、连续刚度、杨氏模量、硬度、DMA
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KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iMicro微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及具有良好灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高分辨的控制。1000mN载荷范围，6nN加载精度，0.04nm位移精度。

• 快速准确的动态纳米压痕测试

• 电磁加载方式

• 快速准确的位移测量

• 超高框架刚度

• 热漂移 <0.05nm/s