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首页> > 产品中心 > CG系列真空高低温探针台

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CG系列真空高低温探针台
品 牌 ：Semishare
型 号 ：SCG
产 地 ：——
关键词 ：SCG系列高低温真空探针台
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    CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着较为有的技术优势

基本信息

产品型号SCG-O-4工作环境高低温真空环境
电力需求AC220V,50~60HZ操控方式手动探针台
产品尺寸1100*1100*530mm设备重量约190KG

应用方向

CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等

常见2种应用需要真空测试环境

较为低温测试:

晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电较为而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电较为间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。