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首页> > 产品中心 > Zeta-388 自动多模式光学轮廓仪

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Zeta-388 自动多模式光学轮廓仪
品 牌 ：KLA Instruments
型 号 ：Zeta-388
产 地 ：美国
关键词 ：轮廓仪,共聚焦显微镜,缺陷检测,白光干涉
产品手册下载

    Zeta-388光学轮廓仪是自动化非接触式3D表面形貌测量系统，具有集成的隔震系统和灵活的配置，并配备了 cassette-to-cassette的搬送系统，特别适合于自动化生产。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。

    Zeta-388的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta -388提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量，以及缺陷检测能力，OCR和SECS/GEM功能使Zeta-388能够在完全自动化的生产设施中使用。

    二、 功能

    主要功能

    台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度

    纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

    外形：3D翘曲和形状

    应力：2D薄膜应力

    薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度

    缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷

    缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

    技术特点

    Zeta-388是采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的全自动光学轮廓仪，具有广泛的应用：

    Z-Dot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像

    ZXI：白光干涉测量技术，适用于Z向分辨率高的广域测量

    ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

    ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

    ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

    AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化

    生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量，支持3D Scanning

大尺寸Wafer测量：大测量尺寸可扩展至8寸

    技术能力



    三、应用

    肖特玻璃-表面粗糙度

    可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。


    太阳能电池–不同反射率表面形貌测量

    轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌。


    MEMS器件–台阶高度和粗糙度

    小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度。

    镜头-完整的表面轮廓

    图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓。

    高分子薄膜-膜厚测量

    可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping。

    蓝宝石-图案化晶片表面缺陷

    可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping。

    四、其他

    国内用户

    南京大学

    南京邮电大学

    国外用户

    麻省理工学院

    加州大学达拉斯分校

    耶鲁大学

    德州大学奥斯汀分校

    西部数据

    应用材料

    博世

    莱彻斯特大学

    希捷

    相关文献

    1. Maxym V.Rukosuyev, et al. One-step fabrication of superhydrophobic hierarchical structures by femtosecond laser ablation. Applied Surface Science, 2014,313,411-417.

    2. H. N. Shubha, et al. Preparation of Self Assembled Sodium Oleate Monolayer on Mild Steel and Its Corrosion Inhibition Behavior in Saline water. ACS Appl. Mater. Interfaces .2013,5,21,10738-10744.

    3. Marta Palacios-Cuesta, et al. Fabrication of Functional Wrinkled Interfaces from Polymer Blends: Role of the Surface Functionality on the Bacterial Adhesion. Polymers. 2014, 6,11, 2845-2861.

    4. Alberto Gallardo, et al. Chemical and Topographical Modification of Polycarbonate Surfaces through Diffusion/Photocuring Processes of Hydrogel Precursors Based on Vinylpyrrolidone. Langmuir .2017,33 ,7, 1614-1622.

    5. Aurora Nogales, et al. Wrinkling and Folding on Patched Elastic Surfaces: Modulation of the Chemistry and Pattern Size of Microwrinkled Surfaces. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2017,9,23,20188-20195.

    6. Olga Kraynis, et al. Suitability of Raman Spectroscopy for Assessing Anisotropic Strain in Thin Films of Doped Ceria. Adv. Funct. Mater. 2019, 1804433,2-7.