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等离子清洗机
品 牌 :SHNTI
型 号 :YP-20
产 地 :中国
关键词 :等离子 电镜清洗 样品清洗
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简介
技术
应用
核心优势
新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)
产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物
“DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持
工作气压范围:0.01-500Pa,不破坏被清洗腔室的高真空
集成式软件控制,一键点击清洗,无需用户过多操作
用户界面
直接安装于高真空腔室的接口上无需特殊固定工具
可预设清洗流程,远程操控
用户友好型操作界面,内置不同种类样品常用清洗设置
样品室和样品均可被清洗
性能参数
应用案例
硅片样品
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