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首页> > 产品中心 > CLONE双模式等离子刻蚀机清洗机

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CLONE双模式等离子刻蚀机清洗机
品 牌 ：Femto Science
型 号 ：CLONE4，CLONE6，CLONE8
产 地 ：韩国
关键词 ：等离子清洗机，等离子刻蚀机
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桌面式等离子清洗、蚀刻系统，等离子刻蚀&反应离子刻蚀系统

腔室结构：



型号比较：



  应用：

·        刻蚀：氧化物刻蚀 RIE模式， 氮化物刻蚀RIE模式， 硅刻蚀 RIE模式， 光刻胶刻蚀 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二维材料 RIE

·        表面处理：亲水处理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增强：PE+RIE，高分子： RIE+PE