Product

Period

Line

Area

Etch depth

 (Si/quartz)

Holes on Hexagonal Lattice

P350h_h_100d

350nm

100mm dia.

200nm / 100nm

P450h_h_50d

450nm

50mm dia.

350nm / 150nm

P520h_h_20w20

520nm

20x20mm2

450nm / 200nm

P600h_h_46w46

600nm

46x46mm2

450nm / 200nm

P600h_h_100d

600nm

100mm dia.

450nm / 200nm

S2D-24D2-0808-150-P

600nm

180nm

8×8.3mm

150nm/-

S2D-24D2-0808-350-P

600nm

180nm

8×8.3mm

350nm/-

P750h_h_51w51

750nm

51x51mm2

450nm / 200nm

P780h_h_20w20

780nm

20x20mm2

450nm / 200nm

P780h_h_50d

780nm

50mm dia.

450nm / 200nm

P870h_h_100d

870nm

100mm dia.

550nm / 250nm

P1000h_h_20w20

1000nm

20x20mm2

600nm / 300nm

P1000h_h_51w51

1000nm

51x51mm2

600nm / 300nm

P1000h_h_100d

1000nm

100mm dia.

600nm / 300nm

P1500h_h_20w20

1500nm

20x20mm2

600nm / 300nm

P1500h_h_51w51

1500nm

51x51mm2

600nm / 300nm

P1700h_h_100

1700mm

100mm dia.

600nm / 300nm

P2000h_h_100d

2000mm

100mm dia.

800nm / 400nm

P3000h_h_100d

3000nm

100mm dia.

1000nm / 400nm

P3500h_h_100d

3500nm

100mm dia.

1200nm / 500nm

P5200h_h_100d

5200nm

100mm dia.

1200nm / 500nm

Holes on Square Lattice

P125s_h_100d

125nm

100mm dia.

100nm / --

P200s_h_100d

200nm

100mm dia.

200nm / 100nm

P350s_h_20w20

350nm

20x20mm.

300nm / 150nm

P350s_h_100d

350nm

100mm dia.

300nm / 150nm

MAH100/100/400-30*30

400nm

100nm

30mm/40mm

100nm/-

MAH300/600/800-30*30

800nm

300nm

20mm/25mm

600nm/-