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光刻胶

液体颗粒度仪

F50/F54 自动膜厚测量仪

光谱型椭偏仪

液体颗粒度仪:

液体颗粒度仪：光阻产品、SOG 等产品中100nm,150nm颗粒测试

F50/F54 自动膜厚测量仪:

全自动光刻胶膜厚测试，mapping

光谱型椭偏仪:

膜厚及折射率及消光系数测试