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sMIM-扫描近场微波阻抗显微镜模块适配于各类主流品牌的AFM。其不仅能进行纳米尺度空间分辨的电导率及介电常数的测量,还能进行载流子浓度以及半导体P/N型的测量。相比于导电原子力显微镜,sIMM很好的弥补了其无法测量绝缘体的遗憾。相比于扫描电容显微镜,sIMM拥有更高测量频率从而实现更高电学分辨率。因此,sIMM适合于各类材料包括导体、半导体、绝缘体/电介质、掩埋式结构、晶体管等样品。


ScanWave让您的AFM为专业的电学显微镜!


       50nm超高分辨率,~100nm内部电学探测,导体、半导体、绝缘体的广泛适用度,为您提供电导率、介电常数、掺杂浓度纳米级


高灵敏度电学
表征成像的解决方案。

         
        
       

适配各种AFM平台的独立扫描模块

                                                  




模块包括微波信号发生器、探针干涉模块、

自主专利同轴屏蔽探针、以及微波近场软件,可

应用于各种AFM平台。


特殊MEMS结构探针,有效避免散杂磁场的干扰。








 

     

      专业多功能自由切换电学显微镜测试功能体验

 

      sMIM-C成像:介电常数、电容变化;

          sMIM-R成像:电导率、电阻率变化;

          dC/dV 振幅:载流子浓度;

         
          dC/dV 相位:载流子类型+/- 

         
          dR/dV 振幅:相关损失系数;

      
      dR/dV 相位:相关损失系数;




       

        高精度电学测试,50nm分辨率

       

        工业级高灵敏度、低噪音,“Hard stuff”材料电学测试不再是难题
 

      可实现表面下成像、检测(>100nm)

                    


         

        不同材料同步测量

       

     导体、半导体、绝缘体、电介质都可以实现,不同的材料甚至分类都可以  在一次扫描中观测
            

        简易操作
   

     不需要样品特别处理,不需要将样品放置在导电或电流中,人性化软件设计,操作简单

            接触和非接触多种扫描模式   

      
            即使在做力曲线,只要想实现,就可以同时获得电学数据。

  

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