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EPS是一款150mm晶圆的手动探针台,也是同类探针台中最具性价比的一款。该平台可以根据用户需求提供从pA~100fA~15fA脉冲测试的需求以及从40GHz~50GHz~67GHz~110GHz,乃至500GHz的射频的需求。在标准的直流和射频测试外,该系统还可兼容常温~200℃,常温~300℃的温控升级。开放性的平台,旨在满足用户多样化的测试需求。此外,EPS系列的平台也给用户提供高压测试解决方案,高压测试可到3000V,10000V需求。


 

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