型号:

 

ET150是一款最大可测6英寸样品的台阶仪,采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式,有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计,起到了良好的自隔震作用。这些都使其拥有极高的分辨率和极佳的重复性!ET150具备了台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析技术。低测定力模式不仅能够避免划伤样品,也能对于软性样品进行测试,适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。


KOSAKA LAB ET 150

微细形状测定机(探针接触式台阶仪)

株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立的公司,也是日本第一家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

 

设备特点:

KOSAKA ET 150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET 150配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

优势:
1、我们采用的机械直动式设计,垂直测量对于数据的准确度有着非常好的保证。
2、我们可以做到极佳的再现性(重复数次实验后,结果的一致性)和线性度。
3、高分辨率,Z方向的分辨率可以达到0.1nm。
4、花岗岩低重心设计(120kg重),最大程度减小振动等外部因素带来的误差。
5、长距离测量,我们是业内唯一可以做到一次性测量100mm长距离测量的设备。
6、对样品,尤其是软样品可以做到不损伤测试。
7、令人信赖的售后服务,我们是做企业用户出身,因此全国有着台阶仪品牌中最多的办事处,售后和口碑也是业内最好的。

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